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国内首台 上海微电子5代投影曝光机发运
2021年08月23日  上海电气集团

8月19日下午，上海电气集团旗下上海微电子装备（集团）股份有限公司举行中国首台G5 TFT投影曝光机发运仪式。上海电气集团副董事长，上海微电子党委书记、董事长干频出席。

据了解，该投影曝光机专用于高亮度显示屏电路制造，是为业内知名厂商定制开发的5代显示屏量产线高端装备。这是上海微电子在平板显示光刻机国产化和市场化道路上的又一项里程碑。

干频对平板平台通过10个月拼搏完成5代投影曝光机交付任务表示祝贺。他指出，平板显示产品平台未来的发展前景光明，要抓住机遇，将更好的产品推向市场。